我校大尺寸电子级硅单晶炉项目产业化取得重大进展

 信息来源 科技处  信息时间 2018-10-24 17:10:35  信息分享

近日,西安市下达了2018年西安市重大科技计划,我校刘丁教授主持的“面向工业应用的12英寸电子级硅单晶炉研制”项目获得批准立项,项目总经费3000万元。该项目旨在提高我国高端电子级单晶硅生长设备的技术水平与核心工艺,研制面向工业应用的12英寸电子级硅单晶生长设备为目标,完成多项关键技术与工艺为一体的中试样机并具备产业化条件,使电子级硅单晶生长设备及核心工艺居国际先进水平。

近期国内某知名公司在对国际国内相关电子级硅单晶炉调研的基础上,决定与我校开展实质性合作,并于2018年9月在西安市主要领导的见证下与我校签订了大尺寸电子级硅单晶炉产业化合作框架协议,这项协议的签订,标志着这一成果向着产业化的目标迈出了重要的一步。

据悉,硅单晶炉是制造集成电路硅材料的关键技术装备,其核心技术和产品长期为极少数国外公司所垄断,并实行严格的技术保密,成为制约我国集成电路产业发展的主要瓶颈之一。我校开展硅单晶炉研发与生产数十年,刘丁教授团队长期从事大尺寸电子级直拉硅单晶生长设备研制、工艺研究与优化控制方面的研究,在国家02专项、国家自然科学基金重点项目、国家“973”计划等项目的支持下,围绕极大规模集成电路用硅单晶生长机理与建模、关键变量检测、核心工艺与控制方法、整机设计与装备制造等关键问题,取得了包括国家技术发明奖在内的一批重要技术成果,在国内外产生了较大影响。研发团队研制成功我国首台极大规模集成电路用12英寸硅单晶炉已通过国家产业化考核和验收。这项成果的取得对于打破国外产品的垄断和技术封锁,实现集成电路重大技术装备国产化具有重大意义。

撰稿:弋英民

编辑:惠忆晴

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